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20年專注等離子清洗機研發生產廠家
氣流量的大小對清洗的影響較大，等離子清洗機在清洗中，要保持一定的真空度(0.1-0.2torr)才能產生輝光進行清洗，在0.1-0.2torr真空度下對于清洗的效(果)都是相同的。在真空度越低的狀態下，相對的輝光較強。在清洗的過程中，需要隨時將被清洗下來的污染物用真空泵抽走，同時也要隨時補充干凈的氣體，為保持一定的真空度，進氣與抽出的氣體應該處于一種動態平衡的狀態，如果進氣量過大，對真空泵的要求就高，這樣一來將浪費氣體。另外，針對高要求的超清洗氣源應先過濾，再輸入plasma等離子清洗機的腔體，這時的氣體流量也不可過大.
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